1.非圖案晶圓檢測系統(tǒng) 非圖案晶圓檢測系統(tǒng)用于晶圓制造商的晶圓出貨檢驗(yàn)、設(shè)備制造商的晶圓進(jìn)貨檢驗(yàn)以及使用假裸晶圓的設(shè)備狀況檢查，以監(jiān)測設(shè)備的清潔度。設(shè)備制造商在裝運(yùn)檢查時(shí)也由設(shè)備制造商在裝運(yùn)檢查時(shí)執(zhí)行設(shè)備狀態(tài)檢查，由設(shè)備制造商在設(shè)備進(jìn)貨檢查時(shí)執(zhí)行。 為了檢查設(shè)備的清潔度，將用于清潔度監(jiān)測的裸晶圓裝入設(shè)備中，然后移動(dòng)設(shè)備內(nèi)部的載物臺(tái)以監(jiān)測顆粒的增加。 下圖顯示了檢測非圖案化晶圓上缺陷的原理： 由于沒有圖案，因此無需圖像比較即可直...
2024-06-28 14:31:54
