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半導體封裝作為芯片制造流程的核心環(huán)節(jié),其精度與效率直接影響產品性能與可靠性。傳統(tǒng)封裝工藝中,晶圓切割后的晶片間距偏差、機械手定位誤差等問題,長期制約著生產良率與自動化水平。而機器視覺技術的引入,通過高精度圖像分析與閉環(huán)控制,為半導體封裝提供了革命性解決方案。
一、晶片定位與閉環(huán)控制
在晶圓切割與拉伸過程中,機械應力與材料特性導致晶片間距呈現(xiàn)非均勻分布,而傳統(tǒng)機械定位系統(tǒng)因固定移動量設計,易造成機械手吸取晶片時偏離中心位置,甚至漏吸。雙翌光電科技采用機器視覺技術,構建了晶片位置的閉環(huán)控制系統(tǒng):通過CCD相機與光源系統(tǒng)的組合,實現(xiàn)0.01mm級定位精度,結合自主開發(fā)的視覺軟件,實時計算晶片中心坐標并反饋至機械手控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過動態(tài)調整吸取點,使機械手精準定位晶片中心,解決了傳統(tǒng)方法因間距偏差導致的定位失效問題。
二、焊點質量檢測與缺陷識別
芯片封裝階段的焊點質量直接影響電氣連接可靠性。機器視覺系統(tǒng)通過高分辨率工業(yè)相機捕捉焊點形態(tài),結合多光譜照明技術,實現(xiàn)焊點形狀、尺寸、間距及共面性的非接觸式檢測。例如,在BGA封裝中,系統(tǒng)可識別直徑0.3mm以下焊球的偏移、橋接及空洞缺陷,檢測精度達±2μm。對于引線框架封裝,機器視覺通過分析金線鍵合點的弧高、跨距及根部直徑,確保鍵合強度符合標準。
三、封裝外殼缺陷檢測與尺寸驗證
封裝外殼的完整性是保護芯片免受機械損傷與環(huán)境污染的關鍵。機器視覺系統(tǒng)采用背向照明技術,通過高對比度圖像分析外殼表面劃痕、裂紋及毛刺缺陷。例如,在陶瓷封裝中,系統(tǒng)可檢測0.1mm寬度的表面裂紋,并利用亞像素級邊緣提取算法測量外殼尺寸公差,確保符合標準。對于塑封料注塑缺陷,機器視覺通過灰度直方圖分析識別微小異常。
雙翌光電的視覺系統(tǒng)已在消費電子、汽車電子、半導體等領域廣泛應用,助力客戶實現(xiàn)自動化轉型升級,成為半導體封裝智能化的標桿解決方案。機器視覺技術通過精準定位、缺陷識別與閉環(huán)控制,正在重塑半導體封裝的制造范式。從晶片級定位到系統(tǒng)級監(jiān)控,其應用深度與廣度持續(xù)拓展。雙翌視覺系統(tǒng)等創(chuàng)新成果的涌現(xiàn),標志著中國半導體裝備產業(yè)向高精度、智能化方向邁出關鍵一步,為半導體供應鏈注入強勁動能。